高低溫真空探針臺是如何工作的？

　　高低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。CPS系列低溫真空探針臺可以對材料或器件進行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量，廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性，系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。
 

　　高低溫真空探針臺是如何工作的？
 

　　可以固定晶圓或芯片，并準確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針端都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。
 

　　對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到準確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。
 

　　可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。
 

　　晶圓檢測是半導體制造中*的步驟，選擇合適的晶圓探針臺和探針來進行晶圓檢測也很重要。超精密氣浮運動平臺具有高精度和運動穩定性，讓系統在快速運行時，能準確識別和測量出晶圓的種種缺陷，大大提高晶圓檢測效率。